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高剛性交叉滾子導軌XY平臺
設備信息 FEATURES
設備參數 PARAMETER
| 技術指標 | 數據 |
| 負載(Kg) | X軸:5 Y軸:15 |
| 最大速度(mm/s) | X軸:300 Y軸:300 |
| 最大加速度(G) | X軸:0.3 Y軸:1 |
| 有效行程(mm) | X軸:200 Y軸:200 |
| 重復精度(μm) | X軸:±1 Y軸:±1 |
| 定位精度(μm) | X軸:±2 Y軸:±2 |
| 平面度(μm) | X軸:±1.5 Y軸:±1.5 |
| 直線度(μm) | X軸:±1.5 Y軸:±1.5 |
| 驅動方式 | X軸:直線電機 Y軸:直線電機 |
| 反饋方式 | X軸:光柵尺 Y軸:光柵尺 |
| 防塵方式 | X軸:無 Y軸:無 |